特許
J-GLOBAL ID：200903083535571447
銀系の薄膜構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-244849
公開番号（公開出願番号）：特開平9-087860
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】銀系の薄膜構造でありながら、ケイ素を含む下地基板上に設けても高い反射率と高い接着強度を得ることができ、もって薄膜太陽電池の電極として特に適する銀系の薄膜構造を提供すること。【解決手段】ケイ素を含む下地の上に、銀と酸素と透明導電性を有する金属酸化物を構成する金属元素とを含む中間薄層を挟んで銀薄膜を形成すること。ここで前記下地が半導体の場合には、薄膜太陽電池の裏面電極層として適したものとなる。そして前記中間薄層を亜鉛と酸素と銀から構成するとなおよい。
請求項（抜粋）：
ケイ素を含む下地の上に、銀と酸素と透明導電性を有する金属酸化物を構成する金属元素とを含む中間薄層を挟んで銀薄膜が形成されている、銀系の薄膜構造。
IPC (4件)：
C23C 28/00
, C23C 14/06
, C23C 14/16
, H01L 31/04
C23C 28/00 B
, C23C 14/06 N
, C23C 14/16 Z
, H01L 31/04 M
