特許

J-GLOBAL ID：200903083537535642

近接場顕微鏡

発明者： 田村 雄一
出願人/特許権者： 株式会社分子バイオホトニクス研究所
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-016703
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210906
出願日： 1996年02月01日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 測定分解能、SN比および検出感度に優れた近接場顕微鏡を提供する。【解決手段】 照明用光源10から出力された照明光Aは、ビームエクスパンダ21、反射鏡22を経て、照明用対物レンズ23で集光されてプローブ30の先端部に照射される。プローブ30の先端部と被測定物40表面との間で照明光Aの照射に伴って発生した散乱光Bは、集光用輪帯レンズ50で平行光とされ、結像レンズ52で集光されて光検出器60に到達し検出される。ここで、プローブ30は、照明用対物レンズ23から出力される照明光Aの光路中にあって、その先端部は照明光Aが集光される位置にある。また、照明用対物レンズ23と集光用輪帯レンズ50とは同軸に配置されており、照明用対物レンズ23から出力された照明光Aは被測定物40表面にほぼ垂直に照射される。

請求項（抜粋）：

第1の光束を出力する照明用光源と、前記第1の光束を入力し、所定位置に集光して照射する照明光学系と、前記照明光学系の出力端と前記所定位置との間の前記第1の光束のほぼ光軸上に配され、先鋭化された先端部が前記所定位置に位置するプローブと、前記照明光学系の出力端と同軸状に入力端を有し、前記プローブの先端部に近接して置かれた被測定物の表面と前記プローブの先端部との間で前記第1の光束の照射に基づいて発生した第2の光束を前記入力端に入力し、前記第2の光束に基づく第3の光束を出力する集光光学系と、前記第3の光束の光量を検出する光検出器と、を備えることを特徴とする近接場顕微鏡。