特許
J-GLOBAL ID:200903083541017257

光学式位置測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 晴敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-248548
公開番号(公開出願番号):特開平6-075686
出願日: 1992年08月25日
公開日(公表日): 1994年03月18日
要約:
【要約】【目的】 光学式位置測定装置の機械的誤差を排除して測定精度を改善する。【構成】 光学式位置測定装置は、光ビームを発射する光ビーム発射手段1R,1Lと、光ビームを偏向する偏向手段2R,2Lと、偏向された光ビームVR,VLが指定された位置を通過した事を検出する位置指示手段4と、該検出に同期して光ビームVR,VLの偏向量を測定する偏向量検出手段とからなる。この偏向量検出手段は、該偏向手段2R,2Lと該位置指示手段4の間に各々介在し、光学的に直接光ビームVR,VLの方向を検出する光ビーム検出手段3R,3Lから構成されている。
請求項(抜粋):
光ビームを発射する光ビーム発射手段と、光ビームを偏向する偏向手段と、偏向された光ビームが指定された位置を通過した事を検出する位置指示手段と、該検出に同期して該光ビームの偏向量を検出する偏向量検出手段とからなる光学式位置測定装置において、前記偏向量検出手段が、該偏向手段と該位置指示手段の間に介在し光学的に直接光ビーム方向を検出する光ビーム検出手段からなる事を特徴とする光学式位置測定装置。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平3-005805
  • 特開昭61-296202
  • 特開昭63-275906

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