特許

J-GLOBAL ID：200903083554510912

電子放出素子

発明者： 山蔭 康弘
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170843
公開番号（公開出願番号）：特開平6-012974
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 引き出した電子ビームの広がりを抑え、もって良質の電子ビームを発生することが可能な電子放出素子を提供する。【構成】 電子を放出する微小エミッタが形成された基板上に、そのエミッタから電子を引き出す電極に加えて、電子ビームの収束効果をもつ電極を一体に形成している。このように、収束電極を付加することで、引き出した電子ビームをその中心軸方向に集めることができ、その結果、所期の目的を達成できる。

請求項（抜粋）：

真空マイクロエレクトロニクス等の分野において電子源として用いられる素子であって、電子を放出するエミッタが基板の所定位置に形成されているとともに、その基板上には、上記エミッタの先端近傍に位置する引き出し電極と、この引き出し電極に対して電子引き出し方向の前方側に位置し、上記エミッタから引き出された電子を収束する収束電極が一体に形成されていることを特徴とする電子放出素子。