特許

J-GLOBAL ID：200903083557062317

物品の表面形状測定装置における測定ヘッドの追従方法

発明者： 永光 達夫 ,  内田 雅智 ,  関谷 宣夫 ,  海津 義和 ,  児玉 彰
出願人/特許権者： 本田技研工業株式会社
代理人 (1件)： 落合 健 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-132837
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322535
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 測定ヘッド設けたレーザー発振器から照射したレーザー光線の反射光を測定ヘッドに設けたカメラで捕らえるようにした物品の表面形状測定装置において、反射光の画像線をカメラの画面の基準点で捕らえるように測定ヘッドの位置を調整する。【構成】 カメラ10の画面を基準点0からの距離に応じて4個の領域R1 〜R4 に分割し、反射光の画像線a0 を構成する各画素Sのx軸からの距離Δy0 を、x軸から離れた領域が重く且つx軸に近い領域が軽くなるように重み付けして重み付け平均距離Δy1 を求める。そして画像線a0 が前記重み付け平均距離Δy1 だけx軸に近付くように測定ヘッドを移動させ、前記画像線a0 を基準点0に近いa1 の位置に移動させる。

請求項（抜粋）：

X-Y平面上に載置した被測定物(W)に対して、X軸方向にインデックスされ、Y軸方向にスキャンされ、且つZ軸方向に進退駆動される測定ヘッド(8)と、この測定ヘッド(8)に設けられ、レーザー光線をY-Z平面内に拡散させて被測定物(W)に照射するレーザー発振器(9)と、前記測定ヘッド(8)に設けられ、被測定物(W)からの反射光をY-Z平面から偏倚した位置において捕らえるカメラ(10)とを備えた物品の表面形状測定装置において、カメラ(10)の画面に捕らえた前記反射光の画像線(a0 )が該画面上の基準点に接近するように前記測定ヘッド(8)をZ軸方向に進退させることにより、その測定ヘッド(8)を被測定物(W)の表面形状に倣って追従させる測定ヘッドの追従方法であって、前記画像線(a0 )を構成する複数の画素(S)の前記基準点からの距離(Δy0 )を重み付け平均して重み付け平均距離(Δy1 )を求め、この重み付け平均距離(Δy1 )だけ画像線(a0 )を基準点に向けて移動させることを特徴とする、物品の表面形状測定装置における測定ヘッドの追従方法。