基板表面処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-339303
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161675
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】スプレーノズルから基板表面に吹き付けられた処理液が基板表面により跳ね返ることにより発生する処理液ミストが広がるのを防止して、基板表面を良好に表面処理することができる基板表面処理装置を提供する。【構成】円筒カップ形状の処理液飛散防止部材4が、その開口5が基板表面と対向するように、しかもスプレーノズル3からの処理液が吹き付けられる基板表面領域2aをほぼ覆うように、スプレーノズル3に取り付けられる。【効果】処理液飛散防止部材4が処理液ミストの飛散領域を規制しているので、処理液ミストの飛散を防止することができ、その結果、基板表面を良好に表面処理することができる。

請求項（抜粋）：

スプレーノズルから基板の表面に向けて処理液を吹き付け、前記基板表面に対し所定の処理を施す基板表面処理装置において、カップ形状に仕上げられ、その開口を前記基板表面に対向させ、しかも前記基板表面のうち前記スプレーノズルからの処理液が吹き付けられる表面領域を覆うように、前記スプレーノズルに取り付けられた処理液飛散防止手段を備える基板表面処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 , G03F 7/30 501 , H01L 21/027 , H01L 21/306

FI (2件)：

H01L 21/30 569 C , H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平3-274721
特開平3-274721
水煙等飛散防止具
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-071252 出願人：株式会社黒木

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