特許
J-GLOBAL ID:200903083567571821

弾性表面波装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北野 好人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-042642
公開番号(公開出願番号):特開平6-112763
出願日: 1993年03月03日
公開日(公表日): 1994年04月22日
要約:
【要約】【目的】 信号処理の対象周波数が1GHz以上であるような弾性表面波装置を実用化するために、四ほう酸リチウム単結晶基板を用いて伝搬速度が速く、かつ伝搬損失の少ない表面波を利用する弾性表面波装置を提供する。【構成】 四ほう酸リチウム単結晶からなる圧電基板と、圧電基板の表面に形成され、弾性表面波を励起、受信、反射、伝搬するための電極とを有する弾性表面波装置において、圧電基板の表面の切り出し角および弾性表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(0°〜45°、30°〜90°、40°〜90°)およびそれと等価な範囲内になるように電極が形成されている。弾性表面波は、レイリー波およびリーキー波よりも高速であり、伝搬にともない圧電基板内に前記弾性表面波のエネルギーの一部分を放射する特性を有している。
請求項(抜粋):
四ほう酸リチウム単結晶からなる圧電基板と、前記圧電基板の表面に形成され、弾性表面波を励起、受信、反射、伝搬するための電極とを有する弾性表面波装置において、前記圧電基板の表面の切り出し角および弾性表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(0°〜45°、30°〜90°、40°〜90°)およびそれと等価な範囲内になるように前記電極が形成され、前記弾性表面波の速度が同一方向に伝搬するバルク波の速い横波の速度以上であり、縦波の速度を越えないことを特徴とする弾性表面波装置。
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平3-296316
  • 特開昭60-259012
  • 特開平3-034715
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