特許
J-GLOBAL ID：200903083568571183
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
高橋 省吾
, 稲葉 忠彦
, 村上 加奈子
, 中鶴 一隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-397067
公開番号（公開出願番号）：特開2005-152972
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】 ミラーの熱変形による曲率変化を抑え、ワーク上に集光されたレーザビームのビーム径の変化を低減できるレーザ加工装置を得るものである。また、ミラーもしくはレンズの冷却能力を高め、ミラーの熱破壊を防止するレーザ加工装置を得るものでもある。【解決手段】 透過型ミラー51の側面と水冷フランジ52とミラーホルダー53とOリング56,57,58にて囲まれた冷却水経路59を設け、水冷フランジ52に設けられた冷却水入口54から冷却水を入水し、冷却水は透過型ミラー51の側面に接した冷却水経路59のA点に達し、そこから2つの経路に分かれ、透過型ミラー51の側面に接し透過型ミラー51の側面を直接冷却しながら透過型ミラー51の円周上を、一方はB点を通過しD点に到達し、もう一方はC点を通過しD点に到達する。D点に到達した冷却水は水冷フランジ52に設けられた冷却水出口55から排水される。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたレーザビームを被加工物へ照射する加工ヘッドと、
前記レーザ発振器から前記加工ヘッドへとレーザビームを導く光学系と、
前記レーザ発振器と前記加工ヘッドと前記光学系の少なくともいずれか1つに配置された反射型ミラーと、
前記反射型ミラーを冷却する冷却手段とを備え、
前記冷却手段は、
前記反射型ミラーのレーザビーム入射面と、前記入射面と反対側の裏面と、前記入射面と前記裏面との間の側面との3面のうち、前記側面を冷却するものであることを特徴とする、
レーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K26/06
, G02B5/08
, G02B7/182
B23K26/06 Z
, G02B5/08 F
, G02B7/18 Z
2H042DB13
, 2H042DE06
, 2H042DE07
, 2H043CB03
, 2H043CE00
, 4E068CA05
, 4E068CB06
, 4E068CD12
, 4E068CD14
, 4E068CH08
, 4E068CJ07
出願人引用 (2件)
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レーザ加工機
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-069404
出願人：三菱電機株式会社
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特開平3-257979号公報(3頁左段、図3)
審査官引用 (2件)
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