特許
J-GLOBAL ID：200903083571934009
パーティクルサンプラ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302747
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145555
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 短時間で最適にウエハやガラス基板上等に付着したパーティクルをフィルタ上に捕集することを目的にする。【解決手段】 被測定体上のパーティクルを吸引ノズルによって吸引し、吸引したパーティクルをフィルタ上に捕集するパーティクルサンプラにおいて、前記吸引ノズルと前記フィルタとの間に設けられていて、前記吸引ノズルで吸引したパーティクルの数を計数するカウンタを設けたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
被測定体上のパーティクルを吸引ノズルによって吸引し、吸引したパーティクルをフィルタ上に捕集するパーティクルサンプラにおいて、前記吸引ノズルと前記フィルタとの間に設けられていて、前記吸引ノズルで吸引したパーティクルの数を計数するカウンタ、を設けたことを特徴としたパーティクルサンプラ。
IPC (4件)：
G01N 1/02
, G01N 15/14
, G06M 11/00
, G01N 21/73
G01N 1/02 D
, G01N 15/14 Z
, G06M 11/00 A
, G01N 21/73
