特許

J-GLOBAL ID：200903083574065052

静電アクチュエータ

発明者： 鈴木 秀俊
出願人/特許権者： アスモ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-282712
公開番号（公開出願番号）：特開2001-112272
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 回転軸から一定の出力が得られる回転型の静電アクチュエータを提供する。【解決手段】 静電アクチュエータは、絶縁層15に複数の電極16a,16bを放射状に設けてなると共に、絶縁層15に非円形貫通孔13を設けた回転子12と、非円形貫通孔13に挿通され、非円形貫通孔13の縁部に対してその径方向ないしは周方向に微小隙間19が形成される断面非円形の係合部14を備える回転軸11と、回転子12に対向して配置され、絶縁層25に複数の電極26a,26b,26cを放射状に設けてなる固定子22と、回転子12及び固定子22の各相の電極16a,16b,26a〜26cに電圧を印加する給電手段30とを備える。

請求項（抜粋）：

絶縁層に複数の電極を放射状に設けてなり、所定個置きに電極を接続して複数相を形成すると共に、上記絶縁層に非円形貫通孔を設けた回転子と、上記回転子の非円形貫通孔に挿通され、非円形貫通孔の縁部に対してその径方向ないしは周方向に微小隙間が形成される断面非円形の係合部を備える回転軸と、上記回転子に対向して配置された絶縁層に複数の電極を放射状に設けてなり、所定個置きに電極を接続して複数相を形成した固定子と、上記回転子及び固定子のいずれか一方の各相の電極に極性を固定して電圧を印加し、他方の各相の電極に極性を切り替えて電圧を印加する給電手段とを備え、回転子及び固定子の電極間に作用する静電的な吸引力及び反発力により回転子を回転駆動する静電アクチュエータ。