特許
J-GLOBAL ID：200903083581716425
インクジエツト記録ヘツド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-343916
公開番号（公開出願番号）：特開平5-147222
出願日： 1991年12月02日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：
【要約】【目的】 高密度のノズルピッチで、機械的強度の低下、反りの発生、平面性の悪化などのないチャンネル基板を有するインクジェット記録ヘッドを実現する。【構成】 チャンネル基板1は、インク吐出面側に異方性エッチングにより凹部9が形成され、反対側に同様にして凹部8が形成されている。チャンネル部7は、凹部8の底部から凹部9の底部に向けて異方性エッチングにより形成されている。したがって、厚いシリコン基板を用いても、チャンネル部が形成される部分の板厚は薄くできる。これにヒーター10を設けたヒーター基板2が接着され、インク供給口6が形成されたヒートシンク4が接着されている。その上にトップカバー3がかぶせられている。
請求項（抜粋）：
表面に(100)面を持つシリコン基板の、少なくとも一方の面から異方性エッチングによる凹部が形成され、該凹部の底面に異方性エッチングによるチャンネル部が形成されたチャンネル基板を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
