特許

J-GLOBAL ID：200903083583570452

ウェハの容量結合放電処理装置および方法

発明者： アジット ピー.パランジペ
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-214557
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216078
出願日： 1993年08月30日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】ウェハの容量結合放電処理装置および方法を開示する。【構成】ウェハ14の容量結合放電処理装置において、電極10、30、40、60、70の輪郭および幾何学的形態は、処理速度の非一様性に応答して、すなわちウェハ14に関する局部的処理速度を選択的に増大させ、また減少させるように、構成されうる。例えば、ドーム形電極10は、ウェハ14の外縁部付近の処理速度を増大させ、ウェハ14の中央部付近の処理速度を減少させるし、また、表面空胴を有する電極40、60、70は、処理速度の局部的増大を生ぜしめる。

請求項（抜粋）：

ウェハの容量結合放電処理装置であって、該ウェハが結合せしめられた第1電極と、該第1電極から所定の距離に置かれ所定の幾何学的形態を有する第2電極であって、前記ウェハに対する前記容量結合放電処理の速度を選択的に変化せしめる該第2電極と、を含む、ウェハの容量結合放電処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/302 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/54 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-299031
  
• 特開昭62-299031