特許
J-GLOBAL ID：200903083594379665
エネルギー分散形X線検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-300944
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212963
出願日： 1995年11月20日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【課題】試料を対物レンズ磁界中に配置する方式の走査電子顕微鏡において、その分解能を損なうことなく高感度なX線分析ができるエネルギー分散形X線分析装置を提供する。【解決手段】検出器素子12とその前方に位置するコリメータ13とを備えたEDX検出装置11を用い、コリメータ13の少なくとも一部を磁界形対物レンズの漏洩磁場中に配置してX線を検出する。コリメータ13は非磁性材料からなる筒状体であり、内壁に凹凸構造を有する。また、コリメータの内壁に電子照射による2次的な電子の発生が少ない材料を塗布するか、コリメータ自体を電子の発生が少ない材料で作製する。
請求項（抜粋）：
電子線発生手段と、電子線収束レンズと、磁界形対物レンズと、エネルギー分散形X線検出器と、電子線照射により前記磁界形対物レンズの漏洩磁場中に配置された試料から発せられるX線を前記エネルギー分散形X線検出器で検出するエネルギー分散形X線分析装置において、前記エネルギー分散形X線検出器と試料との間に非磁性材料製のコリメータを設け、少なくとも前記コリメータの一部は前記磁界形対物レンズの漏洩磁場中に配置されることを特徴とするエネルギー分散形X線分析装置。
IPC (2件)：
H01J 37/252
, G01N 23/225
