特許

J-GLOBAL ID：200903083596048089

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： 石川 力 ,  渡辺 満明
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-162339
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351070
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 密着性、解像度に優れ、かつスカムの発生を抑える感光性樹脂組成物を提供し、さらにプリント配線板の高密度化に有用な感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびプリント配線板を得る。【解決手段】 (A)成分:バインダーポリマー、(B)成分:分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物および(C)成分:光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(B)成分が一般式(I)【化1】(一般式(I)中、R1は水素原子又はメチル基、X1は炭素数2〜6のアルキレン基を示し、nは5〜20の整数、mは16〜30の整数である。)で示される化合物を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)成分:バインダーポリマー、(B)成分:分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物および(C)成分:光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(B)成分が一般式(I)【化1】(一般式(I)中、R1は水素原子又はメチル基を示し、X1は炭素数2〜6のアルキレン基を示し、nは5〜20の整数、mは16〜30の整数である。)で示される化合物(b1)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/028 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (6件)：

G03F 7/028 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D

Fターム (41件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC34 ,  2H025CA28 ,  2H025CB08 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025FA17 ,  5E339AB02 ,  5E339AD03 ,  5E339BC02 ,  5E339BD03 ,  5E339BD06 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE12 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG01 ,  5E339DD02 ,  5E339GG02 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343BB21 ,  5E343BB71 ,  5E343CC43 ,  5E343CC62 ,  5E343DD32 ,  5E343EE17 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG06 ,  5E343GG08