特許

J-GLOBAL ID：200903083605718424

ウェーハ検知装置

発明者： 吉田 久志 ,  山本 哲夫
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287811
公開番号（公開出願番号）：特開平9-107020
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】半導体製造装置でのウェーハ検知動作を簡略化し、ウェーハ検知時間を短縮してスループットの向上を図る。【解決手段】ウェーハカセットが載置された状態でウェーハカセットの下方に位置し、ウェーハカセットに収納された各ウェーハに対応するウェーハ検知スイッチ20が設けられ、ウェーハ検知スイッチ20がウェーハに当接して撓み、先端下面に上接点を有する上リード帯板24と、上接点に当接可能な下接点とを有し、ウェーハが装填されたウェーハカセットが所要のウェーハカセット受位置に載置されると、ウェーハ検知スイッチの上リード帯板24にウェーハが乗り、上リード帯板が撓んで上接点と下接点とが接触してウェーハが検知される。ウェーハを検知したウェーハ検知スイッチの位置を確認することでウェーハカセットへのウェーハ装填状態が検知される。

請求項（抜粋）：

ウェーハカセットが載置された状態でウェーハカセットの下方に位置し、ウェーハカセットに収納された各ウェーハに対応するウェーハ検知スイッチが設けられ、該ウェーハ検知スイッチがウェーハに当接して撓み、先端下面に上接点を有する上リード帯板と、前記上接点に当接可能な下接点とを有することを特徴とするウェーハ検知装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535 ,  G01V 9/00

FI (3件)：

H01L 21/68 L ,  B65G 1/00 535 ,  G01V 9/00 D