特許
J-GLOBAL ID：200903083614290500

セラミックグリーンシートの取扱方法および積層セラミック電子部品の製造方法

発明者：
加藤 浩二

加藤 浩二 について

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馬場 広之

馬場 広之 について

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細川 孝夫

細川 孝夫 について

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米田 康信

米田 康信 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 小柴 雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085074
公開番号（公開出願番号）：特開2000-271919
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：
【要約】【課題】 カットテーブルに位置決めされたキャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出し、これを吸着ヘッドにより吸着しながらキャリアフィルムから剥離し保持するため、吸着ヘッドの吸着面には負圧が与えられる複数の吸引口が設けられるが、吸引口の吸着面側に位置するエッジがセラミックグリーンシートに食い込みこれを破損させることがある。【解決手段】 セラミックグリーンシート6をキャリアフィルム3から剥離した後、中央吸引口9に与えられる負圧を弱めるようにする。これによって、より強い負圧を必要とする剥離工程では、より強い負圧を吸引口9,10に与えながら、剥離後では、中央吸引口9における負圧を弱め、セラミックグリーンシート6の破損を生じにくくすることができる。
請求項（抜粋）：
カットテーブル上に、キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートを位置決めし、前記カットテーブルに対してカット刃を近接させることによって、前記マザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出し、その吸着面にそれぞれ負圧が与えられる複数の吸引口を分布させている吸着ヘッドを、切り出された前記セラミックグリーンシートに近接させることによって、前記セラミックグリーンシートを前記吸着面上に吸着し、次いで、前記吸着ヘッドを前記カットテーブルから離隔させることによって、前記セラミックグリーンシートを、前記キャリアフィルムから剥離するとともに、前記吸着ヘッドによって保持した状態とする、各工程を備える、セラミックグリーンシートの取扱方法であって、前記セラミックグリーンシートを前記キャリアフィルムから剥離した後、前記吸引口に与えられる前記負圧を弱める工程を備えることを特徴とする、セラミックグリーンシートの取扱方法。
IPC (4件)：
B28B 13/00 ,  B28B 11/12 ,  H01G 4/12 364 ,  H01G 4/30 311
FI (4件)：
B28B 13/00 Z ,  B28B 11/12 ,  H01G 4/12 364 ,  H01G 4/30 311 F
Fターム (29件)：
4G055AA08 ,  4G055AC01 ,  4G055CA14 ,  5E001AB03 ,  5E001AF06 ,  5E001AH01 ,  5E001AH05 ,  5E001AH06 ,  5E001AH09 ,  5E001AJ01 ,  5E001AJ02 ,  5E082AB03 ,  5E082BC38 ,  5E082EE04 ,  5E082EE35 ,  5E082FG06 ,  5E082FG26 ,  5E082FG54 ,  5E082GG01 ,  5E082LL01 ,  5E082LL02 ,  5E082LL03 ,  5E082LL35 ,  5E082MM11 ,  5E082MM12 ,  5E082MM13 ,  5E082MM21 ,  5E082MM23 ,  5E082PP05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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