欠陥検査装置及び欠陥検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130248
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311108
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で微小な異物を検出することのできる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。【解決手段】透明な基板8を透過照明する透過照明光学系3,4,5,7と、基板8を落射照明する落射照明光学系3,12,13,9と、基板8を透過照明した光を検出する透過照明検出装置9,10,11,23と、基板8を落射照明した光を検出する落射照明検出装置9,10,11,23と、透過照明検出装置9,10,11,23と落射照明検出装置9,10,11,23との検出結果に基づいて、透過照明光学系3,4,5,7と落射照明光学系3,12,13,9との少なくとも一方の光量を調節する調節手段21,22,24とを備えている。

請求項（抜粋）：

透明な基板上に形成されたパターンの欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記基板を透過照明する透過照明光学系と、前記基板を落射照明する落射照明光学系と、前記基板を透過照明した光を検出する透過照明検出装置と、前記基板を落射照明した光を検出する落射照明検出装置と、前記透過照明検出装置と前記落射照明検出装置との検出結果に基づいて、前記透過照明光学系と前記落射照明光学系との少なくとも一方の光量を調節する調節手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24 , G03F 1/08 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/88 E , G01B 11/24 F , G03F 1/08 S , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 V

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