特許
J-GLOBAL ID：200903083620390710
チャック用の圧力動作されるシーリングダイアフラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-078261
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321711
出願日： 1998年02月19日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 浸食性の処理ガス環境での浸食からチャックを保護すると共に、基板の下からの熱伝達ガスの洩れを削減するチャック用の圧力作動式シールダイヤフラムを得ることを目的とする。【解決手段】 シール構造又はアセンブリ20を使用して、周縁部50を持つ基板45を保持及び支持するチャック30のまわりにシールを形成する。作動式位置調節可能シールダイヤフラム165が基板の周縁部に沿って配置される。ダイヤフラムは、基板45の周縁部に押し付けられたときにシールを形成できるコンフォーマルシール面170を持つ。ダイヤフラムアクチュエータ175は、シールダイヤフラムを、(i)ダイヤフラムのコンフォーマルシール面が、チャックに保持される基板から間隔をあけてそれらの間に隙間190を形成する第1非シール位置から、(ii)ダイヤフラムのコンフォーマルシール面が基板の周縁部を押え付けてそれとシールを形成する第2シール位置185まで作動させる。
請求項（抜粋）：
基板を支持及び保持するチャックのまわりにシールを形成するシールアセンブリであって、(a)前記基板の周縁部に沿って配設され、コンフォーマルシール面を有するシールダイヤフラムと、及び(b)前記シールダイヤフラムが前記基板から間隔を空けて、前記基板との間に隙間を形成する非シール位置と、前記ダイヤフラムの前記コンフォーマルシール面が前記基板の前記周縁部とシールを形成するシール位置との間で、前記シールダイヤフラムを作動させるためのダイヤフラムアクチュエータとを備えることを特徴とするシールアセンブリ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
