特許
J-GLOBAL ID：200903083624429530
液体噴射記録ヘッド及びその製造方法、並びに記録装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059236
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248911
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】 高精度で且つ任意の形状の液室を形成でき、高性能な液体噴射記録ヘッドを容易に作製できる製造方法を提供する。【解決手段】 ポジ型フォトレジスト層を露光し現像して得られる液流路パターンの固体層が設けられた基板上に、硬化型の液流路形成用部材を被覆して該部材を硬化させ、次いで前記固体層を除去して液流路を形成する工程を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、フィルム上にポジ型フォトレジスト層を形成し液室パターンを露光し、現像前に、現像液に可溶なレジスト同士の相溶防止層を設けて再びポジ型フォトレジスト層を形成し露光する工程を所望の形状が得られるまで行ない、その後に現像を行なって液室の型材を作製し、次いで該型材を前記基板上の液室形成部位にラミネートし、その後に前記の硬化型の液流路形成用部材を被覆して該部材を硬化させる工程を有することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
請求項（抜粋）：
ポジ型フォトレジスト層を形成し活性エネルギー線により露光し現像して得られる液流路パターンの固体層が設けられた基板上に、硬化型の液流路形成用部材を被覆して該部材を硬化させ、その後に前記固体層を除去することにより液流路を形成する工程、及び、吐出エネルギー発生部を形成する工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、フィルム上にポジ型フォトレジスト層を形成し活性エネルギー線によって少なくとも液室のパターンを露光し、その現像前に、現像液に可溶なレジスト同士の相溶防止層を設けて再びポジ型フォトレジスト層を形成し露光する工程を所望の部材が得られるまで行ない、その後に現像を行なうことによって少なくとも液室の一部の型材を作製し、次いで該型材を前記基板上の液室形成部位にラミネートし、その後に前記の硬化型の液流路形成用部材を被覆して該部材を硬化させ次いで前記固体層および型材を除去することによって少なくとも液流路および液室を形成する工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法によって作製されたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
