特許
J-GLOBAL ID：200903083632062700
パルスレーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278211
公開番号（公開出願番号）：特開平7-131095
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 装置全体の小型化を図ると共に、電磁波障害の防止策を容易に講じることができるようにする。【構成】 ゲート制御回路13からのゲート信号が、パルストランスPTを介して、スイッチング回路51内の最下流のサイリスタTn のゲートに送られ、Tnがターンオンする。すると、分圧回路Dn のコンデンサ6は、「抵抗5→Tn-1のゲート→Tn-1 のカソード→Tn のアノード→Tn のカソード→コンデンサ6」の経路を辿って放電し、Tn-1 もターンオンする。同様にして、以下、順次、Tn-2 ...T2 ,T1 がターンオンし、スイッチング回路51が全体としてオン状態となり、コンデンサ6に充電されていた電荷が放電される。このとき、可飽和リアクトル52は全てのサイリスタがターンオンするまで非飽和状態を保っているので、ターンオンが終っていないサイリスタに過電圧が印加されることがない。
請求項（抜粋）：
分圧回路D1 〜Dn をそれぞれに有するn個のサイリスタ素子T1 〜Tn を直列接続してスイッチング回路を形成し、高圧直流電源により充電されたパルス電流供給用コンデンサを、このスイッチング回路を介して放電させることによってパルスレーザ励起回路に対して励起エネルギーを供給するパルスレーザ装置において、1次側がゲート制御回路に接続されているパルストランスの2次側を、最下流に位置するサイリスタ素子Tn のみのゲート端子に接続し、分圧回路Dn 〜D1 の各一方の端子を、それぞれに対応するサイリスタ素子Tn 〜T1 の各カソード側に接続し、分圧回路Dn 〜D2 の各他方の端子を、それぞれの上流側に位置するサイリスタ素子Tn-1 〜T1 のゲート端子に接続すると共に、分圧回路D1 の他方の端子を最上流に位置するサイリスタ素子T1 のアノード側に接続し、前記パルス電流供給用コンデンサと前記スイッチング回路との間に、前記n個のサイリスタ素子Tn 〜T1 が全てターンオンした後に飽和する可飽和リアクトルを接続したことを特徴とするパルスレーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/0975
, H01L 29/744
, H01S 3/097
H01S 3/097 D
, H01L 29/74 C
, H01S 3/097 A
