特許

J-GLOBAL ID：200903083633320266

ジアルキルアルミニウムアルコキシドを用いた酸化アルミニウム膜の製造方法

発明者： キム、ユン・ソー ,  コー、ウォン・ヨン ,  ク、ス・ジン
出願人/特許権者： コリア・リサーチ・インスティチュート・オブ・ケミカル・テクノロジー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-521175
公開番号（公開出願番号）：特表平11-500789
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】ジアルキルアルミニウムアルコキシド化合物を0ないし25°Cの範囲の温度で気化させ、生成した蒸気を300ないし600°Cの範囲の温度に加熱された基材と接触させることを含む方法によって酸化アルミニウム膜を基材上に経済的で便利に蒸着させる。

請求項（抜粋）：

気化された下記式(I)のジアルキルアルミニウムアルコキシド化合物を基材と接触させることを含む、基材を酸化アルミニウム膜でコーティングする方法: R12AlOR2 (ここで、R1およびR2は各々独立にC1-10アルキル基である。)

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭54-022933
  
• 特公平5-007358