特許

J-GLOBAL ID：200903083633726602

超音波洗浄装置および洗浄方法

発明者： 山本 裕一
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256180
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066478
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】【課題】 被洗浄物の全面にわたって充分な強度の超音波を付加した洗浄液で安定した洗浄を行う。【解決手段】 被洗浄物であるガラス基板2を搬送ローラ4で搬送しながら、幅方向に2列に配列される超音波振動ユニット30で、ガラス基板2の表面の超音波洗浄を行う。一方の列の超音波振動ユニット30の中間に他方の列の超音波振動ユニット30が位置するように、複数の超音波振動ユニット30は2列に交互に並ぶ。各超音波振動ユニット30には、振動板8に対して振動子9が1対1で取付けられている。ボルトを外すことによって、1対1で固着されている振動板8と振動子9とを超音波振動ユニット30から取外すこともできるので、メンテナンスも容易かつ低コストで行うことができる。

請求項（抜粋）：

洗浄液の少なくとも一部に超音波振動を付与して、被洗浄物を予め定める方向に搬送しながら枚葉方式で洗浄する超音波洗浄装置において、一方向に長く延びる形状のノズルから被洗浄物に、振動子が1対1で固着された振動板で超音波を付与した洗浄液を噴出する超音波振動ユニットを複数含み、該複数の超音波振動ユニットは、該搬送の方向に直交する幅方向に沿い2列に、かつ一方の列に配列されて隣接する2個の超音波振動ユニットに対し、他方の列に配列される超音波振動ユニットが略中央に位置するように配列してあることを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/12 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 3/12 Z ,  H01L 21/304 643 D ,  H01L 21/304 648 K ,  H01L 21/304 648 L

Fターム (9件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB14 ,  3B201AB37 ,  3B201BB24 ,  3B201BB84 ,  3B201BB85 ,  3B201BB86 ,  3B201BB92