特許
J-GLOBAL ID:200903083634235246
光学式測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-206031
公開番号(公開出願番号):特開2007-024646
出願日: 2005年07月14日
公開日(公表日): 2007年02月01日
要約:
【課題】 非接触式のプローブを具備することで、穴の内部を短時間で容易に測定することができる光学式測定装置を提供する。【解決手段】プローブ15の基体31の内部には、光源としての発光ダイオード32(LED)と、透過部としてのピンホール(第1ピンホール33a)と、受光素子としてのPSD34とが収容されている。そして、プローブ15を穴21の内部に挿入し、PSD34上における散乱光の受光位置に基づいて仮想円を求めることで、穴21の内径が算出される。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
被測定物に設けられた穴の内部を測定する光学式測定装置であって、
前記被測定物の穴の内壁面に向けて基本光を照射する光源と、前記内壁面で反射された任意の散乱光を透過させるための透過部と、当該透過部を透過した前記任意の散乱光を受光する受光素子とを備えてなる非接触式のプローブと、
前記プローブが前記穴の内部に挿入された状態で、前記受光素子上における前記任意の散乱光の受光位置に基づき仮想円を求めることにより、前記穴の内径を算出する演算手段とを備えてなることを特徴とする光学式測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B11/12 Z
, G01B11/26 Z
Fターム (21件):
2F065AA27
, 2F065AA31
, 2F065BB08
, 2F065CC11
, 2F065DD02
, 2F065DD06
, 2F065FF09
, 2F065FF44
, 2F065GG07
, 2F065GG14
, 2F065HH02
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ02
, 2F065JJ08
, 2F065JJ16
, 2F065LL30
, 2F065PP22
, 2F065QQ17
, 2F065QQ25
, 2F065QQ42
引用特許:
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