特許

J-GLOBAL ID：200903083641051681

荷電粒子線露光装置

発明者： 清水 弘泰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-134231
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317186
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 電磁レンズの磁極のギャップが広くなった場合でも、磁極によるレンズ場の軸とコイルによるレンズ場の軸とのずれを解消することのできる荷電粒子線露光装置を提供する。【解決手段】 レチクル2を通過した電子ビーム1は、レチクル2上のパターンを、磁極3とコイル4とで構成される第1投影レンズと、磁極5とコイル6とで構成される第2投影レンズによってウエハ7上に結像する。電磁レンズの磁極のギャップ8を広くすると、投影レンズ系の電子光学的な性能を決める軸上磁場が、磁極形状のみではなく、コイルの形状によっても影響されるようになってくるのでこれらを合わせる必要がある。コイル位置調整用つまみ11〜14が設けられているので、これによってコイル4、6の位置を調整して、磁極によるレンズ場の軸とコイルによるレンズ場の軸とのずれを解消する。

請求項（抜粋）：

電磁レンズのコイルを磁極に対して移動調整可能にしたことを特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (4件)：

H01J 37/141 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/141 A ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B ,  H01L 21/30 541 H