特許

J-GLOBAL ID：200903083647234419

ポジ型レジスト組成物

発明者： 佐々木 知也 ,  水谷 一良 ,  漢那 慎一
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  栗宇 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-275241
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109834
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】160nm以下、特にF2エキシマレーザー光(157nm)の露光光源の使用に好適なポジ型レジスト組成物を提供することであり、具体的には157nmの光源使用時に十分な透過性を示し、現像液親和性、画像形成性、耐ドライエッチング性の諸特性に優れたポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】(A)特定構造の繰り返し単位と、特定の部分構造を有する繰り返し単位とをそれぞれ少なくとも1種ずつ有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び(B)活性光線又は放射線の作用により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位と、下記一般式(A1)で表される部分構造を有する繰り返し単位とをそれぞれ少なくとも1種ずつ有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び (B)活性光線又は放射線の作用により酸を発生する化合物 を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (7件)：

G03F7/039 ,  C08F216/14 ,  C08F220/12 ,  C08F220/54 ,  C08F228/02 ,  C08F232/04 ,  H01L21/027

FI (7件)：

G03F7/039 601 ,  C08F216/14 ,  C08F220/12 ,  C08F220/54 ,  C08F228/02 ,  C08F232/04 ,  H01L21/30 502R

Fターム (51件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025FA17 ,  4J100AE09P ,  4J100AE09S ,  4J100AL26Q ,  4J100AL26R ,  4J100AM21Q ,  4J100AP01Q ,  4J100AR11Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02S ,  4J100BA03P ,  4J100BA05P ,  4J100BA05S ,  4J100BA06P ,  4J100BA06S ,  4J100BA10P ,  4J100BA12Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BB07Q ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18S ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC04S ,  4J100BC08P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA39