特許
J-GLOBAL ID：200903083648623389
DC型プラズマディスプレイパネルの陰極及びその形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140303
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335439
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 導電性に優れると共に、放電時のスパッタによる劣化が低減された長寿命の陰極を設ける。【構成】 DC型プラズマディスプレイパネルの陰極4を、低抵抗導電性材料からなる下層4aと耐スパッタリング性の高い導電性材料からなる上層4bの上下2層構造にする。下層4aにより良好な導電性が確保されると共に、上層4bに放電時のスパッタリングによる電極劣化が防止される。下層4a及び上層4bの形成工程にフォトリソ法を利用し、陰極としての抵抗値を確保するために必要な細くて厚い電極を高い精度で形成する。
請求項（抜粋）：
低抵抗導電性材料からなる下層と耐スパッタリング性の高い導電性材料からなる上層の上下2層構造で構成されていることを特徴とするDC型プラズマディスプレイパネルの陰極。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J 17/06
, H01J 9/02 D
, H01J 9/02 F
