位相変化量測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-310306
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142755
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】光の位相を変化させる位相部材の位相変化量を精度良くしかも迅速に計測できる位相変化量測定装置の提供にある。【構成】光の位相を変化させる位相部材を持つ被検物体にコヒーレントな2重スリット光を照明し、この被検物体からの光によるフーリエ像を検出するようにした。また、光の位相を変化させる位相部材を持つ被検物体にコヒーレントな平行光を照明し、この被検物体を通過した光によって2重スリット光を形成し、この2重スリット光によるフーリエ像を検出するようにしても良い。

請求項（抜粋）：

被検物体に設けられた光の位相を変化させる位相部材の位相変化量を測定する位相変化量測定装置において、コヒーレントな平行光を供給する平行光供給手段と、該平行光供給手段からの平行光によって、前記被検物体に所定の間隔で2つのスリット状の光を形成する2重スリット光形成手段と、該2重スリット光形成手段により前記被検物体を介した光によって前記被検物体のフーリエ面上に形成されるフーリエ像を検出する検出手段とを有することを特徴とする位相変化量測定装置。

IPC (4件)：

G03F 1/08 , G01J 9/02 , G01M 11/00 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 W

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