特許
J-GLOBAL ID：200903083670766371
欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312274
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142348
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 幅方向に複数領域の光の透過率または反射率を有する検査対象物の蛇行する複数領域の欠陥検査を高精度で行うこと。【解決手段】 欠陥検査装置用蛇行追従装置は、検査対象物を幅方向に走査し、複数領域の各々に対応した値を持ち且つ検査位置毎に設定される、明欠陥検出用および暗欠陥検出用の少なくとも1つの閾値を格納する閾値メモリを備え、隣接領域の境界の一方の側が非検査領域の場合は非検査領域と検査領域間のエッジ座標を検査領域側に所定量だけシフトさせ、境界の両側が検査領域の場合は境界間のエッジ座標を、明欠陥検出用閾値についてはセンサ出力の低い値を出力する領域側に所定量だけシフトさせ、暗欠陥検出用閾値についてはセンサ出力の高い値を出力する領域側に所定量だけシフトさせた位置にする。
請求項（抜粋）：
幅方向において光の透過率または反射率が異なる複数の検査領域を有する検査対象物の幅方向にラインごとの画像データを得るラインイメージセンサと、前記ラインイメージセンサの検査対象物上における検査範囲が検査対象物の走行方向に移動するように、検査対象物とラインイメージセンサの相対的位置関係を変更する移動装置と、前記ラインイメージセンサの出力信号をディジタル化した画像データから、前記複数の検査領域のうち隣接する領域の境界を示すエッジ座標を検出するエッジ検出手段と、エッジ座標の一方の側が非検査領域で他方の側が検査領域の場合は前記エッジ座標を該検査領域の側に所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定し、該境界の両側が検査領域の場合は明欠陥検出用閾値については前記ラインイメージセンサの出力のうち低い値を出力する領域の側にエッジ座標を所定量だけシフトさせた位置に、暗欠陥検出用閾値については前記ラインイメージセンサの出力のうち高い値を出力する領域の側にエッジ座標を所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定する閾値境界座標設定手段と、閾値境界座標を境にして各領域に対応する値を有する明欠陥検出用閾値及び暗欠陥検出用閾値の少なくとも一方を各ライン毎に格納する閾値メモリとを備えた、欠陥検査装置用蛇行追従装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G06T 7/00
, G06T 9/20
G01N 21/89 A
, G06F 15/62 400
, G06F 15/70 335
