特許
J-GLOBAL ID：200903083675675145
センサーおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石黒 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-068764
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257745
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 セラミックス製ホルダーとセラミック基板に設けた検出素子との間を充填する充填層が、冷熱サイクル時の熱応力、あるいは振動・衝撃により加わる繰り返しの荷重に対し十分な耐久性を有し、検出素子を保持力を長期間に渡って維持できるセンサーの提供。【解決手段】 センサー100は、板状を呈する検出素子2と同一形状のヒーター素子3と接着してヒーター付き検出素子20に形成し、円筒状の耐熱セラミックス製ホルダー4内に固着してなる。ヒーター付き検出素子20とホルダー4との隙間40には、その外周とホルダー4の内周との間に、一端側から、ガラスとセラミックスとの混合物からなる一端側充填層45およびガラスの多い他端側充填層46、並びに電極線32の少なくとも一部およびヒーター付き検出素子20の他端部を封着するガラス層47が設けられている。
請求項（抜粋）：
中空のセラミックス製ホルダーの内部に、セラミック基板の一端に検出部を設けた検出素子と、該検出素子の他端から伸びる電極線と、該電極線の少なくとも一部および検出素子の他端部と前記ホルダーとの間を封着するガラス層と、前記ホルダーと前記検出素子との間を充填する充填層とを備えたセンサーにおいて、前記充填層は、ガラスとセラミックスとの混合物からなり、かつ、検出素子の一端側に配される一端側充填層のガラス含有率を、検出素子の他端側充填層のガラス含有率よりも小さくしたことを特徴とするセンサー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 27/58 B
, G01N 27/46 325 H
