特許
J-GLOBAL ID：200903083679180124
積層セラミツクコンデンサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-260042
公開番号（公開出願番号）：特開平5-101971
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 積層セラミックコンデンサの製造方法において、誘電体層の高積層化を図り、かつデラミネーション等の構造欠陥の発生を完全に防止することを目的とする。【構成】 予め内部電極5を形成した支持体となるベースフィルム4上に誘電体層6を形成する際、ノズルの先端2に凸部2aと凹部2bを設けて一定間隔でスラリーの噴出量に差異を生じさせる構成のエクストルージョン型塗布装置1を用いて内部電極5の形成部分にはスラリーの塗布量を少なく、非形成部分には多くすることで表面が平坦なグリーンシートが得られる。このグリーンシートを用いた熱転写工法により良好な積層が行われ、均一な積層成形体を得ることができるため高積層化に適し、さらに、焼成後の素子においてデラミネーション等の構造欠陥の発生を完全に防止することができる。
請求項（抜粋）：
支持体となるベースフィルム上に内部電極を形成する工程と、この内部電極を覆う形で誘電体層を形成してグリーンシートを作製する工程と、上記ベースフィルム上から上記グリーンシートを直接熱加圧して上記内部電極を含む誘電体層を熱転写することを繰り返して順次積層する積層工程とを具備し、かつ上記誘電体層の形成をエクストルージョン型塗布装置を用いて行うことを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法
IPC (3件)：
H01G 4/12 364
, H01G 4/30 311
, H01G 4/30
