特許
J-GLOBAL ID：200903083682039246
ナノ材料の観察試料作製装置及び作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-026847
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186332
出願日： 2008年02月06日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】 ナノ材料が基板上に固定化された観察試料を良好な状態に作製することが可能な観察試料作製装置及び作製方法を提供する。【解決手段】 静電噴霧用ノズル20内部のナノ材料分散液13と観察基板10との間に電圧を印加し、分散液13の静電噴霧、乾燥、及びナノ材料の静電付着によって基板10上にナノ材料を固定化して観察試料を作製する。また、導電性のグリッド部11と支持膜12とを有する観察基板10に対し、基板10の下方に基準電極81を設けるとともに、基板10のグリッド部11に静電噴霧用の電圧と同一の極性のバイアス電圧を印加して、ナノ材料の基板10上での固定化位置の調整を行う。これにより、良好な状態のナノ材料の観察試料を作製することが可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ナノ材料を観察基板上に固定化して観察試料を作製する作製装置であって、
ナノ材料が溶媒中に分散されたナノ材料分散液を内部に蓄えることが可能な筒状構造を有し、その先端部に前記ナノ材料分散液を静電噴霧するための分散液噴霧口が設けられたノズル本体を含む静電噴霧用ノズルと、
1または複数の開口を有するメッシュ状に形成された導電性のグリッド部、及び前記グリッド部の前記開口に設けられて観察対象の前記ナノ材料が固定化されるナノ材料支持膜を有する観察基板について、前記静電噴霧用ノズルの前記分散液噴霧口に対向するように前記観察基板を支持する基板支持手段と、
前記観察基板に対して前記静電噴霧用ノズルとは反対側に前記観察基板から離間するように配置され、基準電位と電気的に接続される基準電極と、
前記ナノ材料分散液と前記基準電極との間に、静電噴霧用の電圧を印加する噴霧電圧印加手段と、
前記観察基板の前記グリッド部と前記基準電極との間に、前記静電噴霧用の電圧と同一の極性であって、前記観察基板上での前記ナノ材料の固定化位置を調整するために用いられるバイアス電圧を印加する調整電圧印加手段と
を備えることを特徴とする観察試料作製装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N1/28 F
, G01N1/28 T
, B05B5/08 B
2G052AA40
, 2G052AD29
, 2G052AD55
, 2G052DA33
, 2G052FD07
, 2G052GA34
, 4F034AA10
, 4F034BB15
, 4F034CA25
, 4F034DA13
, 4F034DA26
