特許
J-GLOBAL ID：200903083682354303
薬液供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179450
公開番号（公開出願番号）：特開平5-345126
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 薬液Xが腐食性の強いものであつても、流量を調節しつつ薬液Xの供給を行うことができるようにする。【構成】 薬液貯留タンク30内に貯留した腐食性の強い薬液Xが気化して不活性ガス圧送管31を通つてパイロツト式減圧弁1内に流れ込んでも、パイロツト式減圧弁1の不活性ガスの流通経路を構成する部材であるボデイ本体2、ベローズ8、ダイヤフラム14及び弁体22はすべて耐食性に優れたフツ素樹脂からなつているため、薬液Xによつてパイロツト式減圧弁1が腐食することはない。
請求項（抜粋）：
パイロツトエアの供給により不活性ガス圧送源から圧送された不活性ガスを該パイロツトエアの圧力値に基づく圧力で流通させる開弁動作を行い、不活性ガスの流通経路の構成部材としてフツ素樹脂が用いられたパイロツト式減圧弁と、貯留された薬液が前記パイロツト式減圧弁から供給された不活性ガスの薬液の液面に作用する圧力によつて圧送されるようにした薬液貯留タンクと、前記薬液貯留タンクから圧送される薬液の圧送経路に設けられ、該圧送経路中の薬液の圧力または流量を検出して検出信号を出力するセンサと、前記センサから入力される検出信号の値に基づいて所定の制御信号を出力する制御手段と、加圧空気圧送源から圧送された加圧空気を前記制御手段からの制御信号の入力値に比例する圧力のパイロツトエアとして前記パイロツト式減圧弁に供給する比例制御弁とから構成したことを特徴とする薬液供給装置。
IPC (3件)：
B01J 4/02
, F16K 7/12
, G05D 16/00
