特許
J-GLOBAL ID：200903083694301450
ダイシングカット方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-235259
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068236
出願日： 1998年08月21日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 ダイシングにより生じる生成化合物が、ダイシングブレードや固体チップに付着するのを防ぐ。【解決手段】 固体材料をダイシングシートに張り合わせる工程と、ダイシングブレードにより固体材料を切断し、固体チップを形成する工程と、固体チップを洗浄した後、その外観を検査する工程と、を順次行うダイシングカット方法において、前記固体材料が、ダイシングブレードにより切断される前に、予めハーフカットされてなることにより、上記課題を解決する。
請求項（抜粋）：
固体材料をダイシングシートに張り合わせる工程と、ダイシングブレードにより固体材料を切断し、固体チップを形成する工程と、固体チップを洗浄した後、その外観を検査する工程と、を順次行うダイシングカット方法において、前記固体材料は、ダイシングブレードにより切断される前に、予めハーフカットされてなることを特徴とするダイシングカット方法。
引用特許：
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