特許

J-GLOBAL ID：200903083696082420

固体物質の昇華方法及び装置

発明者： ジャン-ジャック エドガール ガレンヌ ,  オリビエール ジャン クリスティアン ポンセレ
出願人/特許権者： イーストマン コダック カンパニー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-308963
公開番号（公開出願番号）：特開平8-232069
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【課題】 従来法の欠点を有さない固体形態の物質を用いる蒸着法によって、生成される蒸着物のドーピングを可能にする昇華装置及び方法を提供する。【解決手段】 a)固体物質を導入する密閉容器;b)前記固体物質から蒸気相を生成させるために前記密閉容器内の前記固体物質を昇華させる手段;c)前記密閉容器に、前記蒸気相を運ぶためにキャリヤーガスを導入する手段;そしてd)前記蒸気相及び前記キャリヤーガスを排出する手段;を含んでなる固体物質の昇華装置であって、密閉容器内部に、その間に前記固体物質を保持する多孔性材料の二つのプレートを有することを特徴とする装置。

請求項（抜粋）：

a)固体物質を導入する密閉容器;b)前記固体物質から蒸気相を生成させるために前記密閉容器内の前記固体物質を昇華させる手段;c)前記密閉容器に、前記蒸気相を運ぶためにキャリヤーガスを導入する手段;そしてd)前記蒸気相及び前記キャリヤーガスを排出する手段;を含んでなる固体物質の昇華装置であって、密閉容器内部に、その間に前記固体物質を保持する多孔性材料の二つのプレートを有することを特徴とする装置。

IPC (3件)：

C23C 16/44 ,  B01D 7/00 ,  B01J 7/00

FI (3件)：

C23C 16/44 C ,  B01D 7/00 ,  B01J 7/00 A