特許

J-GLOBAL ID：200903083704041738

整列マークを有する光学装置およびその製造方法

発明者： ハンス - ペーター・マイヤー ,  マルティン・レーニヒ ,  ヤマル・ボウアヤド - アミネ ,  ライノルト・バインマン
出願人/特許権者： アルカテル・アルストム・コンパニイ・ジエネラル・デレクトリシテ
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074124
公開番号（公開出願番号）：特開平10-031127
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、光導波体層パッケージで形成された光導波体リッジストライプと光学的に検出可能な整列マークを有し、基板上での整列を容易に正確に行うことのできる光学装置およびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 この光学装置では、光導波体リッジストライプWLは上部層DSによって覆われた埋設ストライプ光導波体であり、整列マークJMは少なくとも部分的に光導波体リッジストライプWLと同じ水平に付着された光導波体層パッケージWSで形成されていることを特徴とする。整列マークJMはメサストライプとして形成され、誘電体層DIによって被覆されていてもよい。

請求項（抜粋）：

光導波体層パッケージで形成された光導波体リッジストライプおよび光学的に検出可能な整列マークを有する光学装置において、光導波体リッジストライプは上部層によって覆われた埋設ストライプ光導波体であり、整列マークは少なくとも部分的に光導波体リッジストライプと同じ水平に付着された光導波体層パッケージで形成されていることを特徴とする光学装置。