特許
J-GLOBAL ID:200903083706588718
X線システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
遠山 勉 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-290200
公開番号(公開出願番号):特開2002-181738
出願日: 2001年09月21日
公開日(公表日): 2002年06月26日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】超小型電気装置の内部構造を観察するシステムの改良。【解決手段】開口を有する内側ハウジング41を、開口を有する外側ハウジング42内に隙間を置いて完全に挿入可能であり、内側および外側ハウジング41、42が、ハウジング41、42を所定の関係に固定して離隔配置する取り付け手段を有するX線システム用のキャビネット40であって、鉛シールドが、内側および外側ハウジング41、42間に延在する実質的に完全な中間層を含み、開口に鉛で裏打ちされたクロージュアを設けたキャビネット。
請求項(抜粋):
装置に物体の第一X線画像を表示するステップと、関心領域を最も良く示すために、上記第一画像を仮想的に操作するステップと、上記関心領域へ対応する第二画像を生成するために、上記装置に、リアルタイムで、X線源および/またはX線画像増倍管に対して上記物体を動かさせるステップとを含むX線検査装置の制御方法。
IPC (2件):
G01N 23/04
, H01L 21/60 301
FI (2件):
G01N 23/04
, H01L 21/60 301 Z
Fターム (18件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001DA07
, 2G001DA09
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA06
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001NA30
, 2G001PA14
, 2G001SA14
, 5F044JJ00
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