特許

J-GLOBAL ID：200903083706596630

薄膜蒸着システム

発明者： ロアン,ジエイムズ・エフ ,  サラーノ,ジヤツク・ピー
出願人/特許権者： シーブイデイ・システムズ・インコーポレーテツド
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-543659
公開番号（公開出願番号）：特表2002-511529
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2002年04月16日
要約：

【要約】化学蒸着用の装置は、蒸発室内に置かれた蒸発器に前駆物質を分配する分配器を備える。輸送導管が蒸発室とプロセス室とを連結する。輸送導管を通る前駆物質の流量を測定するために、流量計が輸送導管内に置かれる。測定された流量に応答して前駆物質の流量を制御するために、流量制御器が同様に輸送導管内に置かれる。

請求項（抜粋）：

蒸発器を有する蒸発室、 蒸発室と連通しているプロセス室、及び 蒸発器から、プロセス室内の加熱された基板であって表面に薄膜が形成するように反応面を有する前記加熱された基板への蒸気の流れを調節する流量制御器を備えた化学処理装置。

IPC (3件)：

C23C 16/448 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

C23C 16/448 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 A

Fターム (52件)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA24 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA38 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030EA06 ,  4K030GA02 ,  4K030GA12 ,  4K030KA08 ,  4K030KA25 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031HA13 ,  5F031HA37 ,  5F031JA47 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F045AA03 ,  5F045AA08 ,  5F045AB02 ,  5F045AB07 ,  5F045AB09 ,  5F045AB21 ,  5F045AB31 ,  5F045AD07 ,  5F045AE19 ,  5F045AF03 ,  5F045DP03 ,  5F045EB06 ,  5F045EB08 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04 ,  5F045EF05 ,  5F045EK09 ,  5F045EM05 ,  5F045EM10 ,  5F045EN04 ,  5F045GB05 ,  5F045GB06 ,  5F045GB09 ,  5F045HA24