特許
J-GLOBAL ID：200903083708496063
角速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249056
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103768
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：
【要約】【目的】 小型であっても検出能力が高い角速度センサを提供する。【構成】 x軸回りに回転される基板1の表面には振動子11が固定されている。振動子11の中央部は、振動手段(不図示)により矢印A方向に振動される質量部11bとなっている。基板1の表面の、質量部11bと対向する部位は、x軸方向にほぼ一様な山形状の凹凸形状となっており、その表面に基板側電極2が形成されている。質量部11bの形状についても、基板側電極2に対応した、x軸方向にほぼ一様な凹凸形状となっており、その基板側電極2と対向する部位に振動子側電極12が形成されている。これにより、基板側電極2と振動子側電極12との対向面積が大きくなり、各電極2、12間の距離が変化したときの各電極2、12間の静電容量の変化が大きくなり、検出能力が向上する。
請求項（抜粋）：
基板に所定の空隙を介し、かつ、前記基板と平行な1軸方向および前記基板と垂直方向に変位可能に支持された質量部と、前記質量部を前記1軸方向に振動させるための振動手段と、前記基板および前記質量部のそれぞれに互いに対向して設けられた一対の面状の電極とを有し、前記基板と平行で、しかも前記1軸に垂直な軸回りに回転される角速度センサにおいて、前記一対の電極は、それぞれ前記質量部の振動方向に垂直な方向に凹凸に形成されていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (5件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 21/306
, C23F 1/40
, C23F 4/00
