特許
J-GLOBAL ID：200903083713352959
アライメント装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-020783
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302504
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 アライメント光として単色光を用いた場合の不都合を解消すると共に、比較的簡単な構成で投影光学系の軸上色収差及び倍率色収差を補正する。【構成】 アライメント光学系5Aから射出される波長λA の2光束LaA 及びLbA を、レチクル2、投影光学系3及び補正光学素子GaA 及びGbA を介してウエハ4上のウエハマークWMX に照射し、アライメント光学系5Aから射出される波長λB の2光束LaB 及びLbB を、レチクル2、投影光学系3及び補正光学素子GaB 及びGbB を介してウエハ4上のウエハマークWMX に照射する。ウエハマークWMX から上方に回折される波長λA の光束LcA の色収差を補正光学素子GcA で補正し、波長λB の光束LcB の色収差を補正光学素子GcB で補正する。
請求項（抜粋）：
マスク上に形成された所定のパターンを露光光のもとで基板上に投影する投影光学系を備えた露光装置に設けられ、前記マスクと前記感光基板との相対的な位置合わせを行うアライメント装置であって、前記露光光とは異なる波長域のアライメント光を前記投影光学系を介して前記基板上に形成されたアライメントマークに照射する光照射手段と、該アライメントマークからの光を前記投影光学系を介して検出する検出手段とを有し、前記マスクと前記基板との間に、前記アライメントマークに向かうアライメント光よりなる照射光及び前記アライメントマークからのアライメント光よりなる検出光に対して、それぞれ投影光学系の軸上色収差及び倍率色収差とは反対方向の軸上色収差及び倍率色収差を発生させる照射光用の補正光学素子及び検出光用の補正光学素子を設けたアライメント装置において、前記アライメント光として、前記露光光とは異なる波長域の互いに波長の異なる複数の光で多色化された光を使用し、前記照射光用の補正光学素子又は前記検出光用の補正光学素子を、前記アライメント光を構成する前記波長の異なる複数の光に対応して複数個設けたことを特徴とするアライメント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 507 M
, H01L 21/30 506 J
