特許

J-GLOBAL ID：200903083717773851

静電アクチュエータの製造方法

発明者： 今野 信次 ,  福山 尚志 ,  山本 正弘 ,  西野 充晃
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166913
公開番号（公開出願番号）：特開平8-033359
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 固定子の電極を従来法に比べて著しく安価かつ、大面積化し得るように改良された静電アクチュエータを提供することにある。【構成】 絶縁性支持体(2)に電極(4)を所定間隔で並べた固定子(1)と絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子(20)とが接するように配置して成る静電アクチュエータにおいて、前記電極を、導電性微粒子を含有した導電性インクをグラビア印刷法で形成することを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。

請求項（抜粋）：

絶縁性支持体上に電極を所定間隔で並べた固定子と絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子とが接するように配置して成る静電アクチュエータの製造方法において、前記電極を導電性微粒子を含有した導電性インクを用いてグラビア印刷法により形成することを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。