特許

J-GLOBAL ID：200903083719317284

微少質量測定装置、微少質量測定システムおよび電極取り出し方法

発明者： 田中 一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-114314
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307480
出願日： 2002年04月17日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】高感度のQCMセンサを配線抵抗の影響を受けず信頼性と歩留の向上を可能とする微少質量測定装置、微少質量測定システムおよび電極取り出し方法を提供すること。【解決手段】圧電材料基板の両面に金属電極があり、この電極に電圧を印加し、圧電材料を振動させ、該金属電極の表面に付着した被測定試料の質量を、該圧電材料の振動数の変化またはインピーダンスの変化から読み取る微少質量測定装置であり、該電極部が圧電材料基板の他の部分より薄くなっており、かつ該電極は該圧電材料基板の段差を乗り超えることがなく、該電極との導通に針状または棒状のコンタクトプローブを用い、コンタクトプローブの接触する部分の圧電材料の厚みを確保するか、または裏側は適当な材料により補強する。

請求項（抜粋）：

圧電材料基板の両面に金属電極があり、この電極に電圧を印加し、圧電材料を振動させ、該金属電極の表面に付着した被測定試料の質量を、該圧電材料の振動数の変化またはインピーダンスの変化から読み取る微少質量測定装置であり、該電極部が圧電材料基板の他の部分より薄くなっており、かつ該電極は該圧電材料基板の段差を乗り超えることがなく、該電極との導通に針状または棒状のコンタクトプローブを用い、コンタクトプローブの接触する部分の圧電材料の厚みを確保するか、または裏側は適当な材料により補強されていることを特徴とする微少質量測定装置。