特許

J-GLOBAL ID：200903083722337849

計測システム

発明者： 田中 敏保 ,  永石 俊己
出願人/特許権者： 旭コーデン株式会社
代理人 (1件)： 松井 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-080766
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247710
出願日： 1995年03月13日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 リード端子等の被計測部位の屈曲などによる位置ずれを簡単で、しかも瞬時に計測できるようにする。【構成】 リード端子14aを所定の速度で移送する計測基準ラインLに交点Pを設けた、2組の計測光学系23,24を上記計測基準ラインに対して傾斜した状態で配設し、上記リード端子14aが上記光軸の交点Pに臨まされて、この光軸を遮断するときの位置データと通過直後の位置データとを順次記憶し、これらの位置データに基づき上記リード端子14aの位置ずれを検出する。

請求項（抜粋）：

計測光を出射する投光部と、この投光部からのビームを入射する受光部とからなる計測光学系を複数備え、この各計測光学系の光軸を同一平面上に配設すると共に各光軸を1点で交差させ、この光軸の交点を通過し且つこの各光軸と同一平面上に計測基準ラインを設け、上記各計測光学系を上記計測基準ラインに対して傾斜した状態で配設すると共に、上記各受光部からの検出信号に基づき上記計測基準ライン上を移動する端子状被計測部位が上記各計測光学系の光軸を通過するときの位置データを各々計測する計測部を備えていることを特徴とする計測システム。

IPC (6件)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00 ,  H01L 21/66 ,  B21F 1/00

FI (6件)：

G01B 11/00 A ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  B21F 1/00 C ,  G06F 15/62 405 B ,  G06F 15/64 D