特許

J-GLOBAL ID：200903083730334042

特殊材料ガスの供給方法

発明者： 大森 俊介 ,  小杉 肇
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-198996
公開番号（公開出願番号）：特開平5-042990
出願日： 1991年08月08日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】特殊材料ガス、特に蒸気圧が低いガスを屋外より供給する方法において、一定温度でかつ温度勾配を設け、安定にかつ安易に供給する。【構成】屋外貯蔵庫と半導体製造設備間の特殊材料ガス配管を、防火ダンパーを有する保温ダクト内に配し、クリーンルーム側より通常空気を供給し、特殊材料ガス配管をクリーンルームと同一温度とし、安定に特殊材料ガスを供給する。

請求項（抜粋）：

半導体素子製造等に使用される材料ガスを貯蔵所等から半導体素子製造設備へ送気・供給する方法において、貯蔵所と前記半導体素子製造設備との間に設置されたガス配管と、該ガス配管中に設置され前記貯蔵所と前記半導体素子製造設備とを隔離する防火ダンパーと、前記ガス配管内の雰囲気を一定にするダクトとを備えることを特徴とする特殊材料ガスの供給方法。