特許

J-GLOBAL ID：200903083730957333

排気装置および排気方法

発明者： 熊谷 正浩
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-226075
公開番号（公開出願番号）：特開2004-068637
出願日： 2002年08月02日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】排気管内の真空度の低下を抑制しつつ、真空ポンプの消費電力を節約する。【解決手段】回転制御装置3は、処理装置1で行われる処理の開始信号S1を受け取ると、真空ポンプ2の回転数を上昇させ、処理装置1で行われる処理の終了信号S2を受け取ると、真空ポンプ2の回転数を下降させ、排気管4内の真空度が所定値P1以下になると、真空ポンプ2の回転数を上昇させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

排気を行う排気手段と、 前記排気手段の吸気側の真空度を計測する真空センサと、 前記吸気側の真空度に基づいて前記排気手段の駆動制御を行う駆動制御手段とを備えることを特徴とする排気装置。

IPC (4件)：

F04B49/06 ,  F04B37/16 ,  F04C25/02 ,  F04D19/04

FI (5件)：

F04B49/06 341J ,  F04B49/06 341C ,  F04B37/16 A ,  F04C25/02 B ,  F04D19/04 H

Fターム (27件)：

3H029BB08 ,  3H029BB53 ,  3H029CC53 ,  3H029CC58 ,  3H029CC62 ,  3H031DA00 ,  3H031EA13 ,  3H031EA15 ,  3H031FA40 ,  3H045AA01 ,  3H045AA09 ,  3H045AA26 ,  3H045AA38 ,  3H045BA20 ,  3H045BA32 ,  3H045CA03 ,  3H045DA05 ,  3H045EA13 ,  3H045EA26 ,  3H045EA34 ,  3H045EA42 ,  3H076AA16 ,  3H076AA21 ,  3H076BB21 ,  3H076BB34 ,  3H076CC51 ,  3H076CC81