特許
J-GLOBAL ID：200903083735374735
試料保持装置のモニタ方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-308442
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163674
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【構成】複数個の距離センサ5a,5b,5cによって、センサの設置された位置でのウエハと静電吸着装置の表面との間の距離が計測し、計測された距離の差の値によって、ウエハの平坦化がなったを判断し、制御装置7より、電圧値のコントロールを行う。【効果】ウエハ吸着、またウエハ平坦化の確認手段となる。
請求項（抜粋）：
電極板及び誘電体とを積層してなり、前記電極板と被保持物体間に電位差を生じさせることによって前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着式試料保持装置において、前記静電吸着式試料保持装置に、前記被保持物体との間の距離測定手段を複数個設け、前記複数個の距離測定手段により計測された被保持物体,試料保持装置間の距離によって、前記電極板と前記被保持物体間に生じさせる電位差を変化させる制御装置を設けたことを特徴とする試料保持装置のモニタ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, B23Q 17/00
