特許
J-GLOBAL ID：200903083736884877
ピンホール検査方法及びピンホール検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-084868
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294754
出願日： 1993年04月12日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は、被検査基板に任意に発生するピンホールの有無あるいは大小の検出を短時間で確実に行い、検査コストの削減を目的とする。さらには、既存穴のある被検査基板や、広範囲のピンホール径に対しても適応できる検査方法及び検査装置を提供する。【構成】本発明は、光源4及び光ファイバー5と、光検出器7の中間に被検査基板1を設置する。光ファイバー5を通じて被検査基板1に照射された光は、被検査基板1に任意に発生するピンホールの穴を通過し、光検出器7によって検出する。被検査基板に照射する光は、透過率が既知である光学フィルター13、切り替え板14及び回転機構15によってピンホール面積に対応した光量を自動的に選択する。
請求項（抜粋）：
被検査基板に任意の場所に任意の大きさで発生するピンホールの検査方法において、前記被検査基板に光を照射し、前記ピンホールを通過した光を検出することを特徴とするピンホール検査方法。
IPC (2件)：
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