特許

J-GLOBAL ID：200903083737045615

超音波振動発生装置及び方法、並びにバンプ接合装置

発明者： 光本 豊 ,  岡本 健二
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-337773
公開番号（公開出願番号）：特開2001-149863
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 バンプ接合に最適な周波数で迅速かつエネルギー効率の良く接合を行う、超音波振動発生装置及び方法、並びにバンプ接合装置を提供することを目的とする。【解決手段】 超音波振動子120から得られる電圧及び電流の位相のずれをCPU132にてデジタル値で求め、該ずれ量に基づいて正弦波発生部137にて上記ずれを無くすように超音波振動子へ供給する電圧の周波数を生成する。又、上記電流のデジタル値にてなる実効値と目標振幅値とに基づき超音波振動子へ供給する電圧の振幅を制御する。このようにデジタル演算処理することから、迅速かつエネルギー効率の良いバンプ接合制御が可能となる。

請求項（抜粋）：

正弦波形の入力電圧が供給され超音波振動している振動子(120)から得た、それぞれが正弦波形にて変化する出力電圧及び出力電流をそれぞれデジタル変換し、それぞれパルス波形にてなる電圧パルス及び電流パルスを生成するパルス波形生成回路(130)と、上記パルス波形生成回路から供給される上記電圧パルスと上記電流パルスとの位相のずれ量であってデジタル値にてなる位相ずれ量を生成する位相ずれ量生成部(1322)と、上記位相ずれ量生成部から供給される上記位相ずれ量と上記振動子へ供給している上記入力電圧の周波数との積算を行いデジタル値にてなる積算周波数を生成する周波数積分制御部(1325)と、上記周波数積分制御部から供給される上記積算周波数に基づいて、上記出力電圧と上記出力電流との位相のずれを所望値にして上記振動子を共振周波数にて振動させる修正周波数を有する正弦波を生成する正弦波発生回路(137)と、を備えたことを特徴とする超音波振動発生装置。

IPC (2件)：

B06B 1/02 ,  H01L 21/60

FI (2件)：

B06B 1/02 A ,  H01L 21/92 604 A

Fターム (7件)：

5D107AA03 ,  5D107AA14 ,  5D107BB01 ,  5D107CC06 ,  5D107CC13 ,  5D107CD01 ,  5D107CD04