特許
J-GLOBAL ID：200903083746722204
プラズマによる成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186293
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033141
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 プラズマによる成膜装置において、成膜中に発生するダストの基体上成膜部への付着を抑制する。【構成】 成膜すべき基体6への成膜終了時、プラズマ停止前に該基体の成膜部を覆うシャッタ7及びその駆動装置8を設けたことを特徴とするプラズマによる成膜装置。
請求項（抜粋）：
成膜すべき基体上への成膜終了時、プラズマ停止前に該基体の成膜部を覆うシャッタ装置を設けたことを特徴とするプラズマによる成膜装置。
IPC (4件)：
C23C 16/50
, C23C 16/56
, H01L 21/205
, H01L 21/31
