ウエハ貼着用粘着シート

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223006
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067549
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】半導体ウエハの切断時にはウエハを強固に固定でき、酸素の存在する空気中で放射線照射しても、接着力が速やかに消失するウエハ貼着用粘着シートを提供する。【解決手段】基材に粘着性樹脂と放射線重合性化合物とからなる粘着剤層を構成してなるウエハ貼着用粘着シートにおいて、放射線重合性化合物がカチオン重合性化合物であることを特徴とするウエハ貼着用粘着シートである。

請求項（抜粋）：

基材に粘着性樹脂と放射線重合性化合物とからなる粘着剤層を構成してなるウエハ貼着用粘着シートにおいて、放射線重合性化合物がカチオン重合性化合物であることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート。

IPC (5件)：

C09J 7/02 JLE , C09J 7/02 JJU , C09J 7/02 JKA , C09J 7/02 JKE , H01L 21/301

FI (5件)：

C09J 7/02 JLE , C09J 7/02 JJU , C09J 7/02 JKA , C09J 7/02 JKE , H01L 21/78 M

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