特許

J-GLOBAL ID：200903083749494881

ビア又はデュアルダマシン構造の側壁の銅汚染を防止する方法

発明者： サブハッシュ・ギュプタ ,  ウォク・キュン・ポール・ホ ,  メイ・シェン・チョウ ,  サイモン・チョーイ
出願人/特許権者： チャータード・セミコンダクター・マニュファクチャリング・リミテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-234284
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156073
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 集積回路の製造の際の銅メタライゼーションにおける汚染を回避する方法を提供する。【解決手段】 最初の銅メタライゼーション上に蓋層を形成することによって、ビア又はデュアルダマシンエッチングにおけるインターメタル誘電体層の銅汚染が防止される。最初の銅メタライゼーションを半導体基板上の誘電体層中に形成し、ここで、バリヤー金属層が上記最初の銅メタライゼーションの下に、そして上記誘電体層の上に、形成される。上記最初の銅メタライゼーションを平坦化し、次いでエッチングして、上記誘電体層の表面より下方に凹部を形成する。導電蓋層を上記凹部内の上記最初の銅メタライゼーション上に、また上記誘電体層上に、堆積する。上記導電蓋層を幾つかの方法の1つを用いて上記凹部内の上記最初の銅メタライゼーションの上方を除いて除去する。

請求項（抜粋）：

集積回路の製造におけるビア又はデュアルダマシンエッチングによるインターメタル誘電体層の銅汚染を防止する方法であって:半導体基板上の誘電体層中に最初の銅メタライゼーションを形成し、ここで、バリヤー金属層が上記最初の銅メタライゼーションの下に、そして上記誘電体層の上に、形成され;上記最初の銅メタライゼーションを平坦化し;上記最初の銅メタライゼーションをエッチングして、上記誘電体層の表面より下方に凹部を形成し;上記誘電体層上の上記バリヤー金属層を除去し;上記凹部内の上記最初の銅メタライゼーション上に、また上記誘電体層上に、導電蓋層を堆積し;上記導電蓋層上にスピン-オン物質を被覆し;上記誘電体層の上方の上記スピン-オン物質及び上記導電蓋層をエッチバックし;その後、上記スピン-オン物質の全てを除去して、上記凹部内の上記最初の銅メタライゼーションの上方のみに上記導電蓋層を残留させ;上記誘電体層上に、そして上記最初の銅メタライゼーション上の上記導電蓋層上に、上記インターメタル誘電体層を堆積し;上記インターメタル誘電体層を通じて上記導電蓋層にまで上記ビア又はデュアルダマシン開口をエッチングし、ここで、上記導電蓋層が上記エッチングの間に上記インターメタル誘電体層の銅汚染を防止し;そして上記ビア又はデュアルダマシン開口を金属層で充填して上記集積回路の製造における電気接続を完成することを含む上記方法。

IPC (4件)：

H01L 21/3205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/306

FI (6件)：

H01L 21/304 622 X ,  H01L 21/88 R ,  H01L 21/302 L ,  H01L 21/306 M ,  H01L 21/306 F ,  H01L 21/88 K

Fターム (75件)：

5F004AA11 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA03 ,  5F004DA04 ,  5F004DA05 ,  5F004DA06 ,  5F004DA07 ,  5F004DA08 ,  5F004DA09 ,  5F004DA11 ,  5F004DA12 ,  5F004DA13 ,  5F004DA14 ,  5F004DA15 ,  5F004DA16 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA19 ,  5F004DA20 ,  5F004DA26 ,  5F004DA29 ,  5F004DB08 ,  5F004DB10 ,  5F004DB12 ,  5F004DB17 ,  5F004DB26 ,  5F004DB27 ,  5F004EA27 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH31 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ31 ,  5F033KK01 ,  5F033KK03 ,  5F033KK07 ,  5F033KK11 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK21 ,  5F033KK31 ,  5F033MM02 ,  5F033MM05 ,  5F033MM11 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP06 ,  5F033PP19 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ15 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ20 ,  5F033QQ24 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ49 ,  5F033QQ96 ,  5F033XX28 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043DD16 ,  5F043GG03